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任意の回路形成を、直接描画などの露光技術に加え、ドライエッチング加工をマイクロレベルで行います。高精度かつ高精細な回路形成により、最小ラインアンドスペース=5µm/5µmを実現します。 また、上下面以外にも、側面や斜面にも同様の回路形成も可能です。
- 最小ラインアンドスペース=5µm/5µm
- 斜面・側面へのメタライズ可能
- エアブリッジ配線の形成が可能
- マイクロ波市場
ーエアブリッジ
ー高精細ライン - 光通信市場
ー傾斜基板
ー階段基板
ーAuバンプ
セラミックを中心とする材料を、インジェクション技術や研削加工技術を用いることで、ピラミッド型や角柱型など自由自在な形状の基板を製作可能です。
- 立体物への回路形成可能
- マイクロ波市場
ー異形状基板 - 光通信市場
ー傾斜基板
ー階段基板
卓越したレーザー加工技術により、外形加工や穴あけ加工を得意とし、ビア加工や切り欠き加工など、オリジナル性の高い異型基板の製作が可能です。
- スルー・ビア・ホール加工が可能
- 切り欠き加工が可能
- マイクロ波市場
ー異形状基板
ー切り欠き基板 - 光通信市場
ースルービア
ーフィルドビア(開発中)
用途に合わせ、Au(金)、Pt(白金)、Ti(チタン)、TaN(窒化タンタル)、AuSn(金スズ)など用途に合わせたメタライズを行います。
- メタライズ可能材料
ーAu
ーPt
ーTi
ーTaN
ーAuSn
- マイクロ波市場
ーTaN抵抗 - 光通信市場
ーTaN抵抗
ーソルダーダム
ーAuバンプ
創業以来の技術の集約から、様々な誘電体材料を取り揃えています。誘電体をカスタマイズした基板製作も可能です。
- アルミナ基板は純度99.5%と96%の取扱いが可能
- 誘電材はK=40~K=30,000 まで対応可能
- マイクロ波市場
ーフィルタ回路
ー高誘電率基板
ー多連キャパシタ - 光通信市場
ー多連キャパシタ