従来のマニュアルスクライブ工具では困難な、高精度ウェハカット。マニュアルであるがゆえに個人の感覚に頼る部分が多く、思うようにカットできないという声が多く聞かれます。テクダイヤのハンドスクライバーには、高精度ウェハカットを実現する様々なツールが標準装備されているため、複雑な装置もトレーニングも不要。その手軽さから、企業の研究開発部門、大学や研究所などでご愛用いただいている製品です。

 

特長

 

カット時のウェハ滑りを抑制

滑り止め加工を施したスクライビングプレートで、ウェハをしっかり挟んで固定します。

 

カット位置の視認性向上

透明なプレートで固定するため、ウェハのどこをカットしているか一目で分かります。

 

正確なカットポイントをセッティング

目印に合わせてツールをセットするだけで、自動的にカットポイントの設定が完了します。

 

最適な刃先角度の設定と保持が可能

今まで個人の感覚や経験に頼っていた刃先角度も、ツールが自動で最適角度を設定します。

 

ウェハへの荷重を一定にコントロール

ペン先のバネが刃物の押し込み量を調節し、ウェハにかかる荷重を一定にコントロールします。

 

直線ラインが思い通りに

プレートにくり抜かれたラインがカットを補助し、簡単に直線を引くことができます。

 

他社製品比較表

 

	テクダイヤ	他社A	他社B
製品	ハンドスクライバー	ハンドスクライバー	ダイヤモンドペンシル
用途	ウェハカット	ウェハカット	刻印(点刻、線刻)、線引き
カットポイント	◎ 複数あり (3P、4P)	〇 あり (3P)	△ なし
対応素材	ガラス、サファイア GaAs、InP系ウェハ　等	サファイア、GaAs、 半導体、ナノテク材料　等	ガラス、セラミックス　等
ウェハ固定	◎ 付属の透明プレートで固定	△ 別器具を使用	△ 別器具を使用
カット位置視認性	◎ 良く見える	△ 補助器具による	△ 補助器具による
カットポイント設定	◎ 自動	△ 手動	– 設定不要
刃先角度設定・保持	◎ 自動	△ 手動	△ 手動
荷重コントロール	◎ 自動	△ 手動	△ 手動
直線スクライブ	◎ 付属の透明プレートで補助	△ 別器具を使用	△ 別器具を使用
価格	〇	〇	◎

 

キット内容

 

内容	数量
ハンドスクライバー	1本
ダイヤモンド・スクライブツール	TD-3YP-H、TD-4PB　各1本
アジャスター	3P用、4P用　各1個
スクライビングベース	1個
スクライビングプレート	1個
取り扱い説明書
キャリーケース

 

関連サイト

 

ケーススタディページ(ハンドスクライバーの事例)