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金刚石划线(划线工具)是什么?是指半导体晶片的芯片(单片)化工艺(及使用刀具)。
它是一种用于玻璃切割的工艺,且在采用化合物半导体进行发光器件等的芯片(单片)化方面,划线是不可或缺的技术。 -
金刚石划线的特点是什么?有别于湿式切割不需要用水及高温处理。
在晶片表面施以压力,使内部产生暗裂、进而便于劈裂的制程。 -
金刚石划线有何优势?沿着晶片劈开方向使割断的剖面变成镜面,最适合用在晶粒化制程,
另外切割线的宽度只有数μm,从而提高了每个晶片的芯片集成度。 -
如何选择金刚石划线刀?
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金刚石划线刀会耗损吗?即使采用了硬度最高的金刚石,随着使用仍然会磨损。
但只需将磨损的划线刀进行再研磨,即可重新使用。