芯片化中的难题SiC(碳化硅)晶片。
TECDIA的专业划线应用例。
碳化硅是一种现代化生活备受瞩目的材料之一。众多行业进行着多样化的开发,并进入批量生产阶段。但是,对应批量生产的芯片化技术尚未成熟却是不争的事实。引以为傲的"专业划线"TECDIA技术的应用例。
SiC晶片的芯片化用传统工艺难以实现。
SiC(碳化硅)是地球上硬度第3的化合物。新莫氏硬度为13,比SiC还硬的只有金刚石(新莫氏硬度15)和碳化硼(新莫氏硬度14)。正因为SiC晶片具有坚硬的电路板,采用切割工艺时会有切削速度慢、生产率低且崩裂过大的问题,如果采用激光工艺,则会有碎片,或者设备本身价格过高且光源稳定性不能保证的问题。
从设备开发阶段出发,如果要稳定地进行实现批量生产活跃动向的SiC电路板的芯片化,必须要解决这些问题。
划线工艺要解决这个难题。
使用TECDIA独创的研磨技术进行划线工具(刀具)的开发。同时,结合已开发的划线工具(刀具),还可对划线工具进行优化设置,成功实现SiC晶片的芯片化。如引入本技术,可实现高品质及高生产率的SiC晶片的芯片化。
"划线设备"与"划线工具(刀具)"配套系列,只有专注于技术开发的TECDIA才能实现的技术。
以客户的"目标"为目标,发挥TECDIA产品的定制能力。
除了按照客户提供的样品进行芯片化之外,认真咨询客户"您希望得到什么样的结果",听取更细致的要求,然后应用TECDIA已有技术的定制能力,这是关键。
本技术与激光工艺,砂轮式工艺相比,实现了高品质作业,提高了生产效率。推荐使用SiC晶片的芯片化工序。
在TECDIA的内部设备试验成功。与SiC需求市场扩大共同成长。
【客户行业】电机设备、运输用设备、电力
【业务内容】电子元件制造